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| 玻璃晶圆缺陷检测设备 | |
| 型号 | NOVA-2000-G |
| 晶圆类型 | 玻璃晶圆衬底、图形晶圆 |
| 晶圆尺寸 | 4寸、6寸、8寸、12寸(可兼容相邻尺寸) |
| 检测方式 | 明场、暗场、微分干涉 |
| 分辨率 | 10μm -0.5μm |
| 镜头 | 1X,2X5X,10X,20X,50X |
| 检测缺陷类型 | 划痕，麻点，颗粒物，污染，崩边等 |
| 产率 | ≥12WPH(@8英寸晶圆，分辨率1μm) |
| ≥7WPH(@12英寸晶圆，分辨率1μm) | |
| 自动化 | 2 LoadPort |
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