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玻璃晶圆缺陷检测设备 | |
型号 | NOVA-2000-G |
晶圆类型 | 玻璃晶圆衬底、图形晶圆 |
晶圆尺寸 | 4寸、6寸、8寸、12寸(可兼容相邻尺寸) |
检测方式 | 明场、暗场、微分干涉 |
分辨率 | 10μm -0.5μm |
镜头 | 1X,2X5X,10X,20X,50X |
检测缺陷类型 | 划痕,麻点,颗粒物,污染,崩边等 |
产率 | ≥12WPH(@8英寸晶圆,分辨率1μm) |
≥7WPH(@12英寸晶圆,分辨率1μm) | |
自动化 | 2 LoadPort |
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