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| 图形晶圆缺陷检测设备 | |
| 型号 | AMMI-2000 |
| 晶圆尺寸 | 200mm/300mm |
| 晶圆类型 | Semi Standards 、MEMS、Glass、Thin、Warped、Taiko、Frame |
| 检测方式 | 2D测量 |
| 检测模式 | 明/暗场、偏光、微分干涉 |
| 分辨率 | 6μm - 0.5μm |
| 产率 | 100WPH@300mm, 6μm |
| 镜头 | 可选配1X, 2X, 5X, 10X, 20X, 50X等放大倍率 |
| 检测类型 | 划伤、外来物污染、RDL缺陷等 |
| 通讯 | SEMI standard, SECS/GEM |
| 自动化 | EFEM ( 2 loadPort & Robot) |
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