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热蒸镀
热蒸镀（Thermal Evaporation）是一种用于沉积薄膜的技术，主要应用于电子、光学、装饰和能源等领域。其基本原理是在真空条件下，通过加热蒸发某种物质使其沉积在基板材料表面来获得薄膜。热蒸镀系统通常由真空室、蒸发源或蒸发加热装置以及放置基板的装置组成。将膜材置于真空镀膜室内，通过蒸发源加热使其蒸发，蒸发分子在飞向基片表面过程中很少受到其他粒子的碰撞阻碍，直接凝结成膜。
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