高直写精度 (XY: 10nm， Z: 1nm)

形貌感知灵敏度0.1nm

形貌感知灵敏度0.1nm

PPA(聚苯二醛) 直写胶涂敷在样品表面。

背热式直写探针，微区电阻式加热针尖。与针尖接近的PPA受热瞬间分解，周围部分由于PPA热导率低而不受影响。

热针震动模式直写，直写时探针加热，每次下针幅度受静电力控制，垂直精度 1 nm，从而写出3D图形。

其他功能

● 纳米颗粒有序定位排列

● 纳米局部化学反应诱导

^{快速原型设计开发}

^{● 衍射透镜，全息图}

^{● 非球面微透镜阵列}

^{● 波导纤维、光子晶体}

^{● MEMS/NEMS}

^{● 表面等离子激元，超材料}

^{● 纳米磁学}

^{● 纳米电子器件}

^{● 生物细胞研究}

^{● 纳米流体控制}

^微纳结构

^{● 防伪标识}

^{● DFB 激光、}

^{● ASICs 的关键部位加工}

^模板加工

^{● 光掩模板}

^{● 纳米压印印章}

^{● 注射成型模具}