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OAI UV Led光源

OAI UV Led光源

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光学仪器及设备

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BENEFIT 好处

Low Cost 低成本

Long Life 寿命长

Energy Efficient 高效率能源

Low Power Usage 低功率使用

No maintenance costs or lamp changes 没有维护费用或更换灯管

No Mercury. 没有汞

OPTIONS 选项

Free standing or can be integrated into any OAI 独立或可集成到任何OAI

lithography system 光刻系统

Variety of tooling modules available 可提供多种模具模块

Height adjustable LS stand available 高度可调的LS站

Single or multiple wavelength 单波长或多波长

FEATURES 特性

Beam size 4” to 12” sg. 尺寸为4 "到12 " sg

Wave length 365um， 405um or dual wave length 波长365um， 405um或双波长

Dual Wave Length Tuning available 可进行双波长调协

Beam uniformity better than +/- 4% 光束均匀性优于+/- 4%

Beam intensity up to ~25mW/cm2 光束强度可达~25mW/cm2

Easy to use touch screen interface 易于使用的触摸屏界面

Collimation angle <= 2 degrees 准直角< <= 2度

Dose control and timed exposure 剂量控制和定时曝光

USB remote interface for PC control USB远程接口的PC控制

Long working 长时间的工作

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Using UV Led Light

Source: 0.5um

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