碳化硅晶圆片

推荐碳化硅晶圆片划片切割方法

中国粉体网讯 碳化硅功率器件的制造流程极其复杂，通常包含上百道工序，可简单分为单晶碳化硅晶圆片的制造、前端工艺和后端工艺三个步骤。其中，单晶碳化硅晶圆片的制造主要包括晶锭拉伸、晶锭切片等工艺流程，目标获得一定厚度的高质量碳化[更多]