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RTDB
国产半导体行业专用仪器
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晶和科技RTDB系列超高真空常温键合设备全新亮相
突破高温束缚,以常温工艺解锁异质键合新路径。
RTDB系列依托超高真空环境与表面活化技术,
实现无热应力、高强度原子级键合,全面覆盖研发与量产需求。
8/12英寸机型(量产级)
大尺寸兼容,面向量产:
支持先进封装及晶圆级异质集成规模化制造。
高一致性与高良率:超高真空+均匀加压,实现全尺寸原子级键合覆盖。
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