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用作光学涂层底板或用于制作微光学元件、集成光学和光子学芯片等领域。
| 指标 | 规格 |
|---|---|
| 外形尺寸 | Φ100-200 ±0.1 mm |
| 厚度 | ≥0.5 mm ±0.01 mm |
| 粗糙度 | ≤1 nm |
| 弯曲度 | ≤10 μm |
| 厚度公差 | ≤2 μm |
| 翘曲度 | ≤15 μm |
| 光洁度 | 10-5 |
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