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SAW类钽酸锂
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钽酸锂(LiTaO₃,简称 LT)和铌酸锂(LiNbO₃,简称 LN)均为多功能铁电晶体材料,同属三方晶系,具有畸变钙钛矿型(LT)或类似钙钛矿的铌铁矿型(LN)晶体结构,是光电子、压电电子领域的 “基石材料”。二者兼具压电、铁电、电光、非线性光学等多重效应。钽酸锂(LT)应用于红外探测领域、高频 SAW 滤波器、新兴光子芯片等。铌酸锂(LN)应用于高速电光调制器、传统 SAW 器件、非线性光学器件等关键组件。
| 指标 | 规格 |
|---|---|
| 角度 | Y0、Y36、Y42、Y64、Y112等各种角度 |
| 粗糙度 | ≤1nm |
| 厚度 | 150、250、350、500μm |
| 厚度差 | ≤5μm |
| 弯曲度 | ≤40μm |
| 翘曲度 | ≤40μm |
| 电阻率 | 10~100GΩ*cm |
| 外观质量 | 无划痕、凹坑、边缘缺陷、脏污、杂质 |
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