等静压石墨坩埚的信息介绍

等静压石墨是上世纪60年代发展起来的一种新型石墨材料。耐热性好，在惰性气氛下随着温度的升高其机械强度不但不降低反而升高。在2500℃左右时达到**值。与普通石墨相比结构精密、均匀性好、热膨胀系数低，具有优异的抗热震性、耐化学腐蚀性、导热性等性能。在冶金、化学、电气、航空宇宙及碳化硅半导体工业等领域广泛应用。

等静压石墨坩埚的特点优势

等静压石墨坩埚的工艺应用

等静压成型

等静压石墨坩埚采用冷等静压成型法制造，将高纯石墨粉末或石墨与其他材料的混合物放入弹性模具中，在高压容器中通过液体介质均匀施加压力，使粉末在各个方向上受到相同的压力而成型。这种工艺能使坩埚内部组织均匀、无缺陷，密度和强度高，各向同性好。

烧结处理

成型后的坯体经过高温烧结，进一步提高其密度、强度和耐高温性能，使其具备良好的物理和化学稳定性。

热场应用

在碳化硅衬底生产过程中，等静压石墨坩埚是单晶生长炉热场系统的关键。单晶生长炉系统精密复杂，主炉室是核心，热场系统安装于此，主要由加热器、保温桶、石墨坩埚等构成，除石英坩埚和保温毡外，多采用等静压石墨。等静压石墨坩埚支撑石英坩埚并传递热量，维持硅料熔化状态。

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