碳化硅切割润滑剂的信息介绍

碳化硅切割润滑剂是可生物降解的非腐蚀性水溶液，完全可溶于 DI(去离子)水。在晶锭、晶圆切割过程中，可减少静电积聚、散热、防止电化学腐蚀和增强润滑，从而有效分散锯屑并提高产品质量。配备液体分配器还可以精确控制润滑剂仅在切割过程中使用。

碳化硅切割润滑剂的特点优势

碳化硅切割润滑剂的工艺应用

金刚石线锯切割工艺

碳化硅切割润滑剂主要应用于金刚石线锯切割工艺，硅锭切割用 1:800 稀释比，控制晶体内部微裂纹。晶圆精密切割用 1:1200 稀释比，实现 ±5μm 切割精度，切割后晶圆边缘粗糙度 Ra＜0.5μm。除碳化硅，还适用于蓝宝石、石英玻璃等硬脆材料切割。8 英寸蓝宝石晶圆加工边缘崩缺率从 4% 降至 1.2%。石英玻璃切割表面平整度提高 30%。

液体分配系统

碳化硅切割润滑剂分配系统，支持手动设置和高容量功能，由高品质泵和简易的切割锯集成。该系统可与切割锯同步运行，通过数字计量泵精确控制流量，将适量的切割润滑剂直接分配至DI进水软管，可同时支持1至4台切割锯。该系统与切割锯电子设备配合，精准控制润滑剂的使用，确保润滑剂仅在切割锯实际工作时才分配使用。