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ALD-L 失效分析原子层沉积系统品牌
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ALD-L 失效分析原子层沉积系统
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L系列是科民电子专门为失效分析开发的薄膜沉积系统。系统具有独特设计的流场和温场，能够在低于前驱体源加热温度的条件下完成ALD工艺。
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