参考价格
面议型号
PVD-Auroflux6/8吋薄膜沉积设备品牌
盛吉盛产地
浙江样本
暂无半导体行业专用仪器
PVD-Auroflux6/8吋薄膜沉积设备
国产半导体行业专用仪器
看了PVD-Auroflux6/8吋薄膜沉积设备的用户又看了
留言询价
咨询PVD-Auroflux6/8吋薄膜沉积设备
使用微信扫码拨号
Auroflux 设备适用于Si/SiC/GaN基功率器件6/8寸晶圆金属互联层薄膜淀积工艺。该机台为多腔室前后双平台结构实现晶圆安全准确传输，支持多工艺模块，能够进行全自动工艺处理. 其中主要工艺为晶圆表面预清洗和金属薄膜沉积.广泛应用于集成电路，化合物半导体，功率半导体以及MEMS等领域。当前主要薄膜沉积工艺如下：
AlCu/AlSiCu/Ti/TiN/Hot Al
Ni/Cr/Au/Ag/Ta/Cu/AlN/ALSCN
暂无数据！
PVD-Auroflux6/8吋薄膜沉积设备的工作原理介绍？PVD-Auroflux6/8吋薄膜沉积设备的使用方法？PVD-Auroflux6/8吋薄膜沉积设备多少钱一台？PVD-Auroflux6/8吋薄膜沉积设备的说明书有吗？PVD-Auroflux6/8吋薄膜沉积设备的报价含票含运费吗？PVD-Auroflux6/8吋薄膜沉积设备有现货吗？0有办事机构吗？0销售电话是多少？
移动端
工商已核实
