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U315 是 SGSSEMI 国产自研 AOI(Automation Optical Inspection, 自动光学检测) 量检测设备,可用于表面缺陷检测。U315 采用明场与暗场相结合的光学架构,既能检测硅基不透明材质,又能检测第三代半导体、玻璃等透明材质。在算法端,U315 应用现代 AI 缺陷分类配合传统经典算法,实现晶圆缺陷精准捕捉。
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