AFM-SEM 同步联用技术（通用版）

产品简介

革命性的原子力显微镜（AFM），可实现与扫描电子显微镜（SEM）的无缝集成，为原位关联显微镜开辟新可能。

凭借优化设计，LiteScope AFM 兼容赛默飞世尔、TESCAN、蔡司、日立、JEOL 等主流品牌 SEM 系统及其配件，其他品牌电镜亦可定制适配。

测量模式：

• 机械性能：AFM，能量耗散，相位成像

• 电性能：C-AFM、KPFM、EFM、STM

• 磁性能：MFM

• 电机械性：PFM

• 光谱学：F-z

 曲线，I-V 曲线

• 相关性分析：CPEM

AFM-SEM 同步联用技术（通用版）

实用特点

• 原位样品表征

在 SEM 内部的原位条件下确保样品分析同时、同地、同条件下进行，并且在飞纳电镜内部也能实现原子级分辨率

• 精确定位感兴趣区域

  SEM 与 AFM 原位联用，保证了同一时间、同一地点和相同条件下的分析 使用 SEM 画面，实时观测探针与样品的相对位置，为探针提供导航，精准定位

• 实现复杂的样品分析需求

  提供电气、磁学、光谱等多种测量模式，且能同一位置直接联用 SEM 及 EDS 功能。同时获取 AFM 与 SEM 数据，并将其无缝关联

应用案例

钢和合金的复合分析

利用原子力显微镜对双相钢进行复合分析，揭示了表面形貌（AFM）、铁 氧体晶粒的磁畴结构（MFM）、晶粒相比（SEM）和表面电位杂质开尔文 探针力显微分析法。 • 相关多模态分析揭示了复杂的性质 • 扫描电镜精确定位 ROI，AFM 综合分析

电池的原位表征

固态电池（SSB）比锂离子电池显示出更高的能量密度、更长的寿命和更 好的安全性。由锂镍锰钴氧化物（NMC）颗粒组成的正极胶带在手套箱中 经过 200 个周期后被打开，原位切割并使用 AFM-in-SEM 测量。

 样品提供： Aleksandr Kondrakov, BELLA (DEU)

• 在 CAM 横截面处对局部电导率（C-AFM）进行表征

• 无需空气暴露即可原位制备敏感 CAM

纳米线的先进表征

悬挂蜘蛛丝纳米线因其独特的机械性能而被研究，通过超精确定位AFM 尖端在悬挂的纳米线上。力-距离光谱学使得确定纳米线的弹性和塑性 变形成为可能。

样品提供： Linnea Gustafsson, KTH (SWE)。

• SEM： 精确定位 AFM 尖端和纳米线变形的实时观察

• 分析属性如杨氏模量和抗拉强度

选配件

纳米压痕模块

纳米压痕模块能够在使用超高倍数扫描电子显微镜观察样品的同时进 行微机械实验，并利用 LiteScope 以亚纳米级分辨率对压痕样品进行 分析

NenoCase 与数码相机

在环境条件或不同气氛下将 LiteScope 作为独立 AFM 使用，通过数码 相机精确导航探针。

样品旋转模块

适用于 FIB 后进行 AFM 分析。此外还允许同时安装多个样品实现在不 打开 SEM 腔室的情况下即可对多个样品进行测试。