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主要用于半导体行业，输送各类液态前驱体生产材料至生产机台；具有安全，可靠，不间断供液，可对测漏，循环吹扫等子程序进行参数设置等特点；液体前驱体输送系统作为完全国产化的设备，具有完全自主的知识产权，稳定生产和强大的技术团队跟进售后服务的优势。
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