主要技术指标

Main Technical Index

• 晶棒直径

  Φ350~Φ600mm

  切割进给速度

  5～20mm/min

• 晶棒材质

  单晶硅

  冷却水流量

  <300L/h

• 晶棒长度

  200～1500mm

  压空用量

  <60m³/h

• 晶棒平行度

  ≤0.5mm

  排水连接孔径

  <Φ100mm

• 晶棒加工崩边

  ≤5mm

  设备外形尺寸(长宽高)

  3800×1900×3150mm(长×宽×高)

• 切割表面质量

  Ra≤10μm

  设备重量

  6t

• 环形线直径

  ≤0.65mm

  设备功率

  380V 7kW

设备优势

Machine tool edge

1、不同规格硅棒切换灵活，满足直径Φ350-600圆棒切割 ;

2、大装载量，硅棒*长切割长度1500mm ;

3、硅棒支撑是采用粘料的形式以及浮动气缸辅助支撑，可以保证截断的崩边量 ;

4、**可以50m/s 线速稳定切割，保证切割质量 ;

5、环线切割表面质量好 ;

6、环线张力由伺服电机控制，张力大小可调 ;

7、主动轮、张力轮以及从动轮都有连接气动润滑，即保证内部的密封性，又保证了充分的润滑，大大提高了轴承的使用寿命 ;

8、设备床身为焊接件，焊接后回火加工，刚性好，性能稳定可靠 ;