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8吋电阻法碳化硅晶体生长设备 UK-T8
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8吋电阻法碳化硅晶体生长设备UK-T8
**解决了感应炉径向温度梯度大的技术难点,可实现径向温度梯度小和轴向温度梯度可控,晶体内部缺陷少, 良率高、重复性好;
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