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6吋电阻法碳化硅晶体生长设备 UK-T6
6吋电阻法碳化硅晶体生长设备 UK-T6

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6吋电阻法碳化硅晶体生长设备 UK-T6

品牌

苏州优晶

产地

江苏

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苏州优晶半导体科技股份有限公司

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半导体行业专用仪器

6吋电阻法碳化硅晶体生长设备 UK-T6

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电阻法碳化硅晶体生长设备UK-T6

1、**解决了感应炉径向温度梯度大的技术难点,可实现径向温度梯度小和轴向温度梯度可控,晶体内部缺陷少, 良率高、重复性好;


2、与传统工艺长达7-14天的晶体生长周期相比,UKING ERH SiC RV4.0设备晶体生长速度更快,整个过程可控制在7天之内;


3、 自动化程度高,操控简单,有利于批量生产,提高晶体生长效率和稳定性。



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