12寸边缘刻蚀机

1）： 适用于6-12”硅片的去边处理； 

2）： 去边规格0.4-1.5mm,去边精度±0.1mm，特殊规格支持定制； 

3）： 设备包含FOUP LoadPort,Pre-Aligner,WTR机械手,机械模组，Buffer位，刻蚀槽，水洗槽，甩干位，储酸槽； 

4）： FOUP LoadPort各部分均可以独立操作； 

5）： 具有两套硅片上料线，上料WTR将硅片搬运至Pre-Aligner中定心并寻参； 

6）： 用真空吸盘吸附的方式进行硅片的搬运； 

7）： 下料WTR取走放入到下载FOUP指定Slot中； 

8）： 采用国际知名的电气元件。