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• 曝光后烘烤 (PEB)
• 显影
• 坚膜
三种显影方式集于一体
灵活的喷嘴扫描系统
技术先进，使用便捷
精确的药液控制
兼容8英寸和12英寸晶片
可配至*多四个显影腔体
双面工艺, 每个显影腔体内配有1到5套液体喷嘴
2到8个热盘
2到6个冷却盘
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