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项目 | 参数 |
类型 | 自动上片/下片 |
转速 | 10-6000rpm |
晶圆尺寸 | 2-12吋 |
热盘温度 | **150℃ |
控制系统 | PLC,PC |
均匀性 | ≥3% 和 ≤5% |
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