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Omega-Theta XRD晶向定位
Omega-Theta XRD晶向定位

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型号

Omega-Theta

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荷兰

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马尔文帕纳科

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马尔文帕纳科半导体行业专用仪器

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Omega/Theta XRD 用于超快速晶体定向和摇摆曲线测量


10秒内完成晶体取向测定



Omega/Theta XRD为测定晶面取向提供了良好的综合精度和速度。Omega/Theta XRD可在短短 10 秒内返回结果,具有从条形码阅读器到晶体堆叠支架的许多工艺附件,可容纳重量达30kg、长度达 450mm 的一系列样品。它是将测量好的取向转移到加工工具的可靠合作伙伴。


精度:在偏角幅度和面内方向上达到<0.003°/<0.03°的精度(1σ)

  • 10秒内完成晶体取向测定

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2021-08-06

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