收灰方式：
-进风方式：
-排放浓度：
-阻力损耗：
-脱硫率：
-风量：
-使用温度：
-除尘效率：
-工作原理：
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项目 | 参数 |
应用范围 | 用于3~5～200nmEUV 同时兼容KrF/ArF |
配备 | 压缩空气滤清器、除静电离子风、X-Ray除静电系统 |
风刀角度 | 可手动调整高度&角度 |
风量压力控制 | 电子式气压控制 |
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