ROOKO瑞柯微半导体行业专用仪器
ROOKO瑞柯微FT-3671
国产半导体行业专用仪器
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FT-3671系列全量程硅片四探针测试仪
采用四探针法，覆盖微欧至兆欧级宽量程测试，搭载高精度 AD 芯片与恒流输出，支持 PC 软件自动测量、系数修正与过程图谱显示，直读多参数。具备屏蔽功能与中英文界面，符合 ASTM 标准，提供手动 / 自动双模式，多规格探针可选，满足硅片、薄膜、箔材等高精度科研与质控需求
一.概述：
四探针法，可测微欧到兆欧方阻值量程，采用AD芯片控制，恒流输出， PC软件运行，自动数据测量和系数修正，直读方阻，电阻，电阻率和电导率数据；中文或英文语言版本；具有屏蔽功能；参考美国 A.S.T.M 标准。单晶硅物理测试方法
二.适用范围：
1.导电性新材料、铝箔、铜箔、铝涂层、碳纤维材料、电极材料；
2.一般的涂层材料、薄膜、薄片基底材料研究.
3.大学、研究所、R&D部门对新材料宽量程电阻率或电导性能研究使用.
FT-3671系列全量程硅片四探针测试仪
三.参数资料：
规格型号 | FT-3671A经济型 | FT-3671B自动型 |
1.方块电阻范围 | 10^6～2×10^7Ω/□ | |
2.电阻率范围 | 10^7～2×10^8Ω-cm | |
3.测试电流范围 | 1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA, 100nA ,10nA , 1nA | |
4.电流精度 | 1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA±0.1% ; 100nA ,10nA , 1nA±2% | |
5.电阻精度 | 10^2Ω以下量程≤0.5%; 10^2Ω以上量程≤10%; | |
6.PC软件界面操作 | PC软件界面显示：电阻、电阻率、方阻、电导率、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度、过程图谱，报表生成. | |
7.测试方式 | 手动测量 | 自动测量 |
8.工作电源 | 输入: AC 220V±10%.50Hz功 耗：<100W | |
9.误差 | 小量程≤4%（标准样片结果）;大量程≤10% | |
10.校准方式 | 标准电阻和标准样片 | |
11.测试探头 | 探针间距选购： 2mm；3mm两种规格; 探针材质选购：碳化钨针、镀金磷铜半球形针 | |
采用四探针法，覆盖微欧至兆欧级宽量程测试，搭载高精度 AD 芯片与恒流输出，支持 PC 软件自动测量、系数修正与过程图谱显示，直读多参数。具备屏蔽功能与中英文界面，符合 ASTM 标准，提供手动 / 自动双模式，多规格探针可选，满足硅片、薄膜、箔材等高精度科研与质控需求
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