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项目 | 参数 |
曝光光源 | 350W、500W、1KW、2KW汞灯/UV-LED |
晶圆尺寸 | 2”-12” |
均匀性 | ≤ ±3％ 和 ≤±5％ |
对准精度 | ±1μm（选配±0.5μm） |
分辨率 | ±1μm（选配±0.8μm） |
产能 | ≥70wph |
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