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桌面型双靶磁控溅射镀膜仪不锈钢腔体品牌
成 越产地
河南样本
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简单介绍:
本设备为双靶磁控镀膜仪,可用于金属薄膜的制备,在电子领域、光学领域、特殊陶瓷制备等领域均有应用,也可实验室SEM样品制备
详情介绍:
本设备为双靶磁控镀膜仪,可用于金属薄膜的制备,在电子领域、光学领域、特殊陶瓷制备等领域均有应用,也可实验室SEM样品制备。 本套配置采用高真空不锈钢腔体,腔体设置带挡板的石英观察窗,便于实验的观察记录;腔体设计真空性能优良,造型小巧,十分适合实验室使用。同时设备配有旋转加热样品台,可以有效提高薄膜的均匀性和成膜的质量。整机采用模块化设计,操作逻辑简单,操作界面直观,利于上手。
应用领域:
本设备为双靶磁控镀膜仪,可用于金属薄膜的制备,在电子领域、光学领域、特殊陶瓷制备等领域均有应用,也可实验室SEM样品制备
技术参数:
产品名称 | 桌面型不锈钢腔体双靶磁控溅射镀膜仪 | |
产品型号 | CY-MSZ254-II-DC-SS | |
样品台 | 外形尺寸 | φ100mm |
可调转速 | ≦20rpm | |
磁控靶枪 | 配两支两英寸磁控靶,靶材尺寸:直径50.8mm,厚度≦3mm | |
真空腔体 | 腔体尺寸 | φ254mm X 300mm |
观察窗口 | 前置式 | |
腔体材料 | 304不锈钢 | |
开启方式 | 上盖开启及前开门 | |
真空系统 | 前级泵 | 双极旋片泵 |
分子泵 | 大抽速涡轮分子泵 | |
真空测量 | 复合真空计,量程:10-5~105Pa | |
抽气接口 | ISO63 | |
排气接口 | KF16 | |
系统真空 | 1.0×10-4Pa | |
供电电源 | AC 220V 50/60Hz | |
抽气速率 | 前级泵抽速1.1L/s | |
输出功率 | 直流电源500W | |
其他参数 | 供电电压 | AC220V,50Hz |
整机功率 | 2kW | |
整机尺寸 | 710*480*580 |
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