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桌面型铝合金腔体单靶磁控溅射镀膜仪品牌
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河南样本
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简单介绍:
桌面型铝合金腔体单靶磁控溅射镀膜仪是一种紧凑型镀膜设备,采用磁控溅射技术在基片表面沉积薄膜
详情介绍:
桌面型铝合金腔体单靶磁控溅射镀膜仪是一种紧凑型镀膜设备,采用磁控溅射技术在基片表面沉积薄膜。其核心特点包括:
铝合金真空腔体:轻量化设计,耐腐蚀性好,适合实验室或小规模生产环境。
单靶配置:支持单一靶材(如金属、合金或氧化物),结构简单,操作便捷。
磁控溅射技术:利用磁场约束等离子体,提高溅射效率,形成均匀、致密的薄膜。
桌面设计:体积小巧,适合科研院所、高校实验室等空间有限的场所。
应用领域:
该设备广泛用于材料科学、光学、电子等领域,具体包括:
光学薄膜:如增透膜、反射膜、滤光片等。
电子器件:半导体电极、导电薄膜(如ITO)、传感器涂层。
功能材料:耐磨涂层(如TiN)、防腐涂层、超硬薄膜(类金刚石)。
科研实验:新材料开发、薄膜性能测试、教学演示等。
磁控溅射镀膜仪技术参数:
产品名称 | 桌面型铝合金腔体单靶磁控溅射镀膜仪 | |
产品型号 | CY-MSZ200-I-DC-AL | |
样品台 | 外形尺寸 | φ50mm |
旋转 | 自转+公转角度倾斜2英寸 | |
可调转速 | ≦20rpm | |
磁控靶枪 | 配一支两英寸磁控靶,靶材尺寸:直径50.8mm,厚度≦3mm | |
真空腔体 | 腔体尺寸 | φ180mm X 150mm |
腔体材料 | 铝合金 | |
开启方式 | 上盖拆卸式 | |
真空系统 | 真空测量 | 复合真空计,量程:10-5~105Pa |
抽气接口 | KF25 | |
系统真空 | 1.0E-1Pa(机械泵) | |
供电电源 | AC 220V 50/60Hz | |
输出功率 | 直流电源500W | |
其他参数 | 供电电压 | AC220V,50Hz |
整机功率 | 2kW | |
重 量 | 30kg | |
整机尺寸 | 385X450X420mm |
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