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自动印刷机
-4英寸~8英寸
-LED、显示、光学器件
-柔性树脂模具(卷对卷)
-在线涂布机(旋转涂布机)
在线气体释放处理-真空辅助UV印刷(365纳米)
-50纳米图案分辨率
-降低CoC与Co0
与光刻相比占地面积小-可与KrF、i线步进式设备相媲美
-月产能:30K
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