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主要技术参数
特征 | 参数 | 参数 | 参数 |
型号 | AT-MA6200 | AT-MA8200 | AT-MAC200 |
曝光均匀性 | ≥98% | ≥97% | ≥97% |
光源 | UVLED （350-450nm） | UVLED （350-450nm） | UVLED （350-450nm） |
曝光能量密度 | 10-100mW/cm2 | 10-100mW/cm2 | 10-100mW/cm2 |
分辨率 | 3μm（接近式） 1μm（接触式） | 3μm（接近式） 1μm（接触式） | 3μm（接近式） 1.5μm（接触式） |
正面套刻精度 | ±0.5μm | ±1μm | ±1μm |
背面套刻精度 | ±1μm | ±1.5μm | ±2μm |
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