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江苏样本
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Strain Viewer
国产半导体行业专用仪器
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产品编号
SV200, SV300
所属分类
半导体制造量检测产品方案
晶圆内应力检测仪（SV系列）
Strain Viewer 技术规格
| 产品型号 | SV200 | SV300 |
|---|---|---|
| 样品测量口径 | 兼容2-8英寸晶圆 (200*200mm) 可订制化样品载台 | 兼容2-12英寸晶圆 (300*300mm) 可订制化样品载台 |
| 应力测量输出内容 | 相位延迟（°）及光学延迟（nm）归一化延迟（nm/mm）综合应力（MPa）及方位角 | |
| 测量光源 | 630nm LED光源 (可选配其它光源) | |
| 尺寸量测横向分辨率 | 25μm | |
| 应力测量范围 | 0~150nm光学延迟 | |
| 方位角测量范围 | 0-180 ° | |
| 测量重复性 | 0.5nm光学延迟，0.5 °方位角 | |
| 测量准确性 | ±1nm光学延迟, ±1.5 °方位角 | |
| 应力图像解析度 | 1600 万像素 （@6英寸晶圆） | 3400 万像素 （@8英寸晶圆） 7700 万像素 （@12英寸晶圆） |
| 单次测量时间 | 典型<35秒（@6英寸晶圆） | <50秒（@8英寸晶圆） <1.5分钟（@12英寸晶圆） |
| 样品载台 | 大尺寸电动XY位移台： 250*350mm 支持自动拼接 | 大尺寸电动XY位移台： 320*700mm 支持自动拼接 |
| 微管缺陷计数模块 | 可选配 | |
| 设备尺寸 | 一体式机柜：870mm* 950mm* 1800mm 可加装晶圆自动传片系统 | 一体式机柜：1050mm* 1230mm* 1800mm 可加装晶圆自动传片系统 |
瑞霏光电内应力检测仪将晶圆全口径内应力数值、方位角等分析整合进入一键测量，确保我们的客户能够快速确认工艺和生产管控。
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