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Gasboard-3053品牌
四方仪器产地
湖北武汉样本
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四方仪器Gasboard-3053
国产半导体行业专用仪器
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产品名称：氧分析仪
产品型号：Gasboard-3053
产品概述
氧分析仪Gasboard-3053搭载高稳定性的氧化锆核心传感器，覆盖25%富氧至1ppm微量氧的全范围测量。具有测量精度高、响应时间快、稳定性好等特点，可应用于半导体制造、空气分离、惰性气体焊接等领域，为关键的过程控制应用程序提供可靠的性能。产品采用紧凑型模块化设计，体积小巧，便于在复杂⼯况下安装，同时配备直观丰富的用户界面，提供人机交互体验。
产品特性
测量精度⾼，ppm级别测量
响应速度快，秒级出数
即插即⽤⼀体化设计
内置采样泵与过滤系统，安装维护便捷
本地化端到端服务保障
应用领域
半导体、LED等⽣产过程中氧浓度控制、惰性保护⽓体⽣产及焊接⼯艺中氧浓度监测、空⽓分离加⼯⼯艺中氧浓度测定、真空⼿套箱系统中氧含量的监控
技术参数
| 微量-常量氧分析仪 | ||
| 功能性能需求 | 检测气体 | O2 |
| 量程范围 | 0~10~100~1000ppm，0~25%，自动切换 | |
| 检出限 | 0.5ppm | |
| 分辨率 | 0.1ppm | |
| 准确度/示值误差/精度 （ppm=氧分压/当前⼯作总压） | ≤±2%F.S. 或 ±0.5ppm 以较大值为准 | |
| 响应时间 | T90≤10s | |
| 预热时间 | ≤20min | |
| 零点漂移 | ±0.5%F.S. | |
| 量程漂移 | ±0.5%F.S. | |
| 重复性 | ±0.5%F.S. | |
| 电气结构 | 通讯协议 | RS-232，RS-485 |
| 气路接口 | 进气/出气 1/4''VCR-F | |
| 结构形式 | 一体式 | |
| 结构尺寸（L*W*D） | 210*134*300mm | |
| 环境要求 | 传感器（RSM）工作温湿度 | 温度：0~50℃；湿度：0~95%RH，非冷凝 |
| 采样流量 | 0.5~1L/min传感器内设控流组件 | |
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