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ALD薄膜沉积
国产半导体行业专用仪器
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ALD薄膜沉积
规格&简介
基底尺寸
6” wafer
应用领域
AI203,Hf02,Zro2.
VOx、TiO2,
MoOx.
SiO2,AIN,SixNy等
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