一、设备概述

石英舟清洗机是为半导体、光伏、光纤通信等行业设计的专用清洗设备，主要用于去除石英舟在高温工艺（如CVD、扩散、氧化）中积累的杂质、颗粒、金属残留及有机物污染。该设备通过高效清洗和干燥技术，确保石英舟的表面洁净度达到纳米级工艺要求，避免交叉污染，延长石英舟使用寿命，同时保障下游工艺的稳定性和良品率。

二、核心功能与技术特点

精准清洗工艺

多槽式清洗系统：采用酸洗、碱洗、水洗、超纯水冲洗等多槽分段设计，可针对不同污染物（如金属氧化物、有机膜、微粒）选择**清洗方案。

喷淋与超声波结合：通过高压喷淋实现表面均匀冲刷，配合超声波空化效应清除顽固附着物，清洗效率提升30%以上。

温度与浓度可控：清洗液温度、酸碱浓度实时监控并自动调节，避免因参数波动导致石英舟腐蚀或清洗不彻底。

高效干燥技术

热风循环干燥：内置恒温热风系统，快速烘干残留水渍，防止水痕污染。

无尘环境设计：干燥腔体配备HEPA过滤器，杜绝外部颗粒污染，确保石英舟表面洁净度达到Class 10标准。

智能化控制系统

人机交互界面：7英寸触摸屏预设多种清洗程序（如标准清洗、重金属去除、有机物剥离），支持自定义参数保存。

数据追溯功能：记录每次清洗的时间、温度、液位等数据，便于工艺优化和质量管控。

故障自检与报警：实时监测液位不足、温度异常、泵体堵塞等问题，并通过声光警报提示操作人员。

三、设备优势

兼容性强：适用于各种规格石英舟（如船型、槽型），可定制夹具适配不同尺寸。

安全环保：酸碱槽体采用PP/PVDF材质，耐化学腐蚀；废液回收系统实现封闭式排放，减少危废处理成本。

低耗节能：水循环系统重复利用清洗液，热风干燥采用热泵技术，较传统烘箱节能40%。

长寿命设计：核心部件（如超声波振子、泵体）选用耐腐蚀材料，设备无故障运行时间≥2000小时。

四、应用场景

半导体领域：清洗扩散炉、CVD设备中使用的石英舟，去除硅片残留的磷、硼液及工艺薄膜。

光伏行业：清理多晶硅长晶炉石英舟表面的石墨残留和挥发物，提升电池片光电转换效率。

科研实验：用于高校、研究所的高温实验设备石英部件清洗，满足高精度分析需求。