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| 光刻版类型 | ·石英基片 |
| ·苏打玻璃基片 | |
| ·菲林版 | |
| 工艺能力 | ·2.5英寸-9英寸可定制 |
| ·苏打版精度±0.3um | |
| ·石英版精度±0.1um |
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