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DX-7CF型硅单晶锭复检仪
功能:此型仪器专门用于硅单晶锭定向、粘结后复检。待测晶锭在我公司的DX-7C型X射线定向仪定向,在DX-7CZ型粘料仪上粘结后,*终在本仪器上复检,和多线切割机配套使用。
特点:此仪器具有一个工作台,工作台上有托板和料板(工件板)的定位、夹紧装置。晶锭与垫条(石墨/玻璃/树脂)、料板粘结后一起装在上述装置定位夹紧,其端面在x射线照射下进行复检,每个料板只可复检两块晶锭。
技术参数:
项目 | 参 数 |
输入电源 | 单相交流220V,50Hz,0.3KW. |
大管电压 | 30kV |
管电流 | 0-5mA连续可调 |
接收器 | 盖革计数器,工作电压高为DC1050V。 |
X射线管 | 铜靶,风扇冷却,阳极接地。 |
外形尺寸 | 1290(长)x772(宽)x1300(高)mm |
仪器重量 | 300kg。 |
晶锭直径 | 5-8英寸 |
晶锭大长度 | 500mm |
测定晶面 | 111向、100向 |
定向精度 | ±30"(用标准石英片10ī1面测量) |
小读数 | 1" |
晶锭转角(&) | ±10° |
料板大长度 | 500mm |
料板宽度 | 70mm、100mm |
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