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W-150A/B-6K 微波等离子化学气相沉积系统品牌
铂世光产地
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W-150A/B-6K 微波等离子化学气相沉积系统
国产半导体行业专用仪器
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| 系统特点： |
| ·采用方位换向对称方式微波耦合，来提高微波的均匀性 |
| ·稳定沉积面积20cm2 |
| ·**功率达到6KW |
| ·使用纯净的石英窗 |
| ·采用不锈钢反应腔，能耐高温 |
| ·高压力控制，产生高密度单模式等离子体 |
| ·使用高精度气体质量流量计，高可靠性稳定的压力控制系统 |
| ·稳定的微波输入 |
| 应用： |
| ·宝石 |
| ·复合热沉片 |
| ·精密加工刀具刀头 |
| ·红外光学窗口 |
| ·量子传感器/NV色心量子器件 |
| ·功率电子器件 |
| ·高增益激光器 |
| ·高纯电化学电极 |
| ·纳米金刚石材料 |
| ·第四代半导体材料 |
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