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核心技术：
**磁浮Carrier导轨结合特殊导流气体设计，降低微粒发生；
自主溅镀线体设计，掌控in-line 腔体设计核心
可调式进出片时序控制与防撞片监控系统，可配合不同使用规格需求客制化产能、膜厚搭配性。
先进性：
降温腔体设计，解除翘曲顾虑；
阴极靶材冷却设计，保证大功率长时间操作稳定性佳。
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