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PECVD
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型号

PECVD

品牌

鸿浩半导体

产地

广东

样本

暂无
广东鸿浩半导体设备有限公司

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仪器专用配件

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核心技术:

多站式(Multi-Stantion)设计,系统具有优异的膜厚均匀性;

模组化机台设计能够针对客户的需求做设计;

射频功率设计,使反应物能在低温的状态下达到高速率的沉积,进而提高产能;


先进性:

具有多站式(Multi-Stantion)设计,能够实现高重复性,使薄膜沉积的更加均匀;

优化RF功率,使薄膜应力及反射率达到**数值


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