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HMPS-2100SP微波等离子体(CVD)系统品牌
沃特塞恩产地
四川样本
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HMPS-2100SP微波等离子体(CVD)系统
国产半导体行业专用仪器
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技术参数
| （1） | 型号 | HMPS-2100SP |
| （2） | 电源 | AC380±10% V 三相五线制 50Hz，额定输入＜18KVA |
| （3） | 微波输出功率 | 0.1~10kW 连续可调 |
| （4） | 功率稳定度 | 1%（@稳态） |
| （5） | 纹波 | ≤1% |
| （6） | 微波频率 | 2450MHz±50MHz |
| （7） | 测温方式 | 红外300~1400℃ |
| （8） | 极限真空度 | ≤3.7×10-3Torr |
| （9） | 工作压力 | 5torr~225torr |
| （10） | 放电区 | Φ≥85mm |
| （11） | 均匀沉积区 | ≥68mm |
| （12） | 工作气体 | H2 /CH4 /N2 /O2 或CO2 或Ar ,可扩展为5路 |
| （13） | 氦质谱真空漏率 | ≤1.0×10-9Pa·m3/s； |
| （14） | 工作环境 | 温度15-40℃，相对湿度≤60%，无腐蚀性气体 |
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