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W-380A-10K 微波等离子化学气相沉积系统品牌
铂世光产地
上海样本
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W-380A-10K 微波等离子化学气相沉积系统
国产半导体行业专用仪器
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| 系统特点： |
| ·采用方位换向对称方式微波耦合，来提高微波的均匀性 |
| ·稳定沉积面积44cm2/80cm2 |
| ·**功率达到8KW/10KW |
| ·使用纯净的石英窗 |
| ·采用特殊铝合金反应腔，能耐高温（碟形） |
| ·高压力控制，产生高密度多模式等离子体（碟形） |
| ·使用高精度气体质量流量计，高可靠性稳定的压力控制系统 |
| ·稳定的微波输入 |
| 设备的优势： |
| ·反应可控，能长时间稳定工作在8KW/10KW |
| ·所有电子设备中采用微波，没有电极放电，没有金属污染 |
| ·参照C/H/O比例表，对反应物有更大的选择余地 |
| ·采用高效散热的样品台，**散热能力可达20KW以上 |
| ·高效率微波利用率，氢等离子体直接作用于样品台加热时效率可达75%以上 |
| ·高可靠性，高实验重复性，高设备耐久性 |
| ·简捷的人机交互界面 |
| 应用： |
| ·宝石 |
| ·复合热沉片 |
| ·精密加工刀具刀头 |
| ·红外光学窗口 |
| ·半导体wafer |
| ·生物电极 |
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