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MW-670微波等离子设备——6kw品牌
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四川样本
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MW-670微波等离子设备——6kw
国产半导体行业专用仪器
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生长台尺寸：φ70mm 可同时生长7mm*7mm单晶45粒
10mm*10mm单晶21粒
控制方式：触摸屏控制，PLC工艺菜单运行（手动或自动）
微波电源： MUEGGE 6KW 2.45GHz
真空泵：Leybold D16C / KYKY RV-4三相旋片泵
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