
马尔文帕纳科半导体行业专用仪器
马尔文帕纳科SDCOM
国产半导体行业专用仪器
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用于晶体取向测量的 SDCOM 小型衍射仪
用于单晶(晶锭和晶圆)的材料研究、生产和质量控制的台式XRD设备。
Si | SiC | 金刚石 | AIN | GaAs | 石英 | LiNbO₃ | bbo | GaN 和其他一百多种材料。
SDCOM的特点
超快速测量:样品旋转一次(即10秒内)即可捕获所有所需的晶体取向参数
多种样品尺寸:可测量直径从1mm到200mm的样品
可对任何单晶材料进行全自动分析和取向测定
典型标准偏差 (Si 100):倾角幅度<0.01° ,倾角方向<0.03°
正常运行时间:>99%
Theta 扫描功能:用于复杂的研究和材料表征
转移技术:实现一束切割光束中*多可处理6个定向好的晶体
可与SECS/GEM等MES集成

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2021-08-06
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