Scribe Model 200-6适用于在6英寸晶圆上分割元件。功能强大的，无振动，操作简单，无需过多培训即可使用。包括数字十字准线的视频集进行垂直定向； LCD屏幕可显示参数，可通过编程轮进行选择。

磨削头

• Z轴运动，可调节角度

•可调节划线力从10gr到250gr，恒重

•金刚石工具：可调节角度和旋转

•刀具偏置，十字准线

•精度：±5μm

晶圆

•晶圆片直径6''

•真空吸附

•框架/环形适配器

•电动夹头旋转

•夹头旋转对准，90度/可编程

•X Y轴/分辨率1μm;精度±5μm

•无振动设计

•通过渐进式操纵杆控制运动

视觉系统

•光学放大倍率，与其他应用兼容

•视野：标准1mm

•TFT显示器17''和CCD彩色高清摄像机

•目标发生器

•LED照明

参数

•步骤指数

•Y划线速度从1到100毫米/秒

•划线长度可编程

•重复划线

•划线数量

•多指数功能

•削减计数器

技术规格

功率：100 / 230VAC ，500watt

气压：70psi

真空：60％

尺寸：650x700x500mm（26''x28''x20''）

重量：70kgr。