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应用：
◆尼康(Nikon)和佳能(Canon)光刻机。
技术参数：
Tanehashi公司致力于向尼康(Nikon)和佳能(Canon)光刻机用户提供性能可靠的光罩盒。其产品适用于开放式卡盒（Open Cassette）光刻机。
主要特点：
◆产品成熟，质量可靠；
◆防静电（ESD），性能优良；
◆适用于5”或6”光刻机；
◆适用于单膜或双模的光掩膜。
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