德国海德堡Heidelberg激光直写光刻机 MLA150

德国高精密激光直写绘图机

非接触式曝光

可支持高效数位光刻与灰度光刻

MLA150专为便于操作而设计，涵盖过去30年中开发的激光直写设备的所有技术知识。它提供了单层和多层应用所需的所有功能，由于MLA150曝光是非接触式的，因此它可以克服无光罩曝光技术的局限性。

与其他图形产生器不同的地方不仅在于MLA150易于使用，还有极快的曝光速度。使用小至1微米的结构曝光100x100mm2的区域仅需要不到10分钟。透过使用三个不同分辨率的集成摄像头，可在2分钟内完成多层应用中的套刻对位，套刻对准精度优于500nm。

MLA150无光罩激光直写设备直接曝光图形的灵活性能，可提升在Life Science， MEMS， Micro-Optics， Semiconductor， Sensors， Actuators， MOEMS， Material Research， Nano-Tubes， Graphene及任何其他需要微结构等领域的工作效率。