KYKY-EM82系列超高分辨场发射扫描电子显微镜

一、产品简介

KYKY-EM8200超高分辨场发射扫描电子显微镜，采用全新电子光学设计，基于减速样品台、新一代低像差物镜、Inlens探测器等技术，集成丰富的图像处理功能，为新能源、半导体等用户提供全新解决方案。

二、产品特点

1、高分辨电子光学系统

l 新一代低像差物镜

l 减速样品台

l 低压高分辨成像

2、高效便捷的用户体验

l 全新用户界面设计

l 丰富的软件测量功能

l 光学导航

l 着陆束流检测

3、高性能信号探测系统

l 低噪声Inlens探测器

l 自动推入式背散射探测器

l 丰富的探测器扩展接口

三、技术参数

四、产品功能

1、二次电子探测器

高信噪比，高带宽 · 大景深，表征样品表面形貌结构

2、不同探测器同时成像

· 显示SE，BSE 双通道图像

· 可任意设置不同探

· BSE探测器，反应样品表面的成分特征

3、阴极荧光成像

4 大图拼接

· 样品区全域视场矩阵自动规划，拍照流程无需人工干预

· 百千张级数据量快速拼接实时预览，构建全域清晰扫描大图

5 粒度分析

采用深度学习的复合图像处理算法，自动识别比例尺，精准识别图像中的颗粒，多种形态参数的统计与导出，

掺铝碳酸钴

多种形态参数结果

多种形态数据输出

6 关键尺寸测量

具备距离，角度，水平线/垂直线/圆径测算等，丰富的图像测量功能

五、定制能力

1、电子束曝光（EBL）

l 功能：基于扫描电镜的电子束曝光系统（EBL），能够精确地控制电子束的扫描路径和能量沉积，从而实现高分辨率的图形曝光。该系统采用先进的电子束扫描控制技术，支持灵活多样的图案设计和精确控制，不仅具有电子束曝光功能，还保留了原SEM 的观测功能，这使得用户可以在同一台设备上完成样品的观测和加工，提高了工作效率和便利性。

l 参数：*小束斑 优于5nm;  探针电流 1pA~20nA;  线宽 优于15nm

l 应用场景

科研教学、微电子制造、原型器件开发、纳米材料制备、生物医疗研究

l 应用案例

二维周期阵列结构加工

50nm线宽/周期200nm光栅结构

60nm直径点阵周期结构

声表面波碳纳米管谐振器耦合器件

场效应晶体管电极

2、真空互联

真空互联扫描电镜用于对样品车传递过来的产品进行自动检测，分析其表面晶粒形态大小分布等信息，评估其薄膜的膜质量情况。

真空互联系统可以在真空状态下对样品进行预处理，并传递到扫描电镜内进行观测.

自动检测和反馈系统，对样品标签、位置状态、样品交接进行监控和记录，可以清晰的了解样品传输状况。

3、激光联用-超快电镜

l 功能：

超快电镜利用激光、电场等外界刺激使样品达到激发态。使用时间延迟可调的另一束激光作用于电镜灯丝，产生脉冲电子束照射于样品表面进而收集表面逸出的二次电子对激发瞬态进行表征。

l 扫描电镜电子枪及发射阴极改造

改造后的电子枪 

（1）激光入口 ；

（2）探测激光引入示意图，与电子束方向呈一定角度夹角;

（3）从激光入射口可见阴极工作时的发射状态。

l 应用领域

超快结构动力学，新型光场隐含物态调控、自由电子量子光学等。