【印刷用途】  

内部电极  

嵌入在绝缘体内部的正/负极，通过施加电压来产生静电力。  

加热机制（根据需要）  

为控制晶圆的温度，会内置加热器。

【规格】

・打印范围：适用于12英寸尺寸

·双向进出机构

・滑板速度可调节（可通过配方设置）

・刮刀压紧力度可调节（可通过配方设置）

・工作台吸力可调节（可通过配方设置）

ESC‑500 是日本 Micro‑tec 专为半导体静电卡盘（ESC）工艺开发的专用精密丝网印刷机，可适配 12 英寸基板制程。设备内置专用电极，依靠静电吸附固定陶瓷基板，搭载双向离模机构；刮刀行进速度、印刷下压量、工作台吸附力全部可配方化存储调用，可选配基板加热温控模块，适配导电浆料、介电浆料印刷制程，用于静电卡盘内部电极层、介质层图形印刷成型。整机按照半导体洁净车间标准设计，印刷重复精度高，膜厚均匀稳定，可用于静电卡盘的研发打样与小批量量产，广泛应用于半导体零部件制造领域。