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卧式化学气相沉积炉(碳化硅)
卧式化学气相沉积炉(碳化硅)

参考价格

面议

型号

HCVD-060609-C

品牌

顶立科技

产地

湖南长沙

样本

暂无
湖南顶立科技股份有限公司

金牌会员

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第13年

|

生产商

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核心参数
  • 非金属电热元件:

    其他
  • 金属电热元件:

    其他
  • 烧结气氛:

    真空
  • 温控精度:

    ±5~±10
  • 最高温度:

    1500
  • 额定温度:

    1500
标签:

顶立科技真空炉

顶立科技HCVD-060609-C

国产真空炉

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卧式化学气相沉积炉(沉积炭)主要用于以碳氢气体(天然气、丙烷、丙烯)为碳源的预制体气相渗透增密处理

 

技术特征

 

电阻炉可采用多温区独立控温,温度均匀性好;

采用智能压力调控,压力波动小;

全封闭沉积室,密封效果好,抗污染能力强;

多通道工艺气路,流程均匀,无沉积死角,沉积效果好;

多级高效尾气处理系统,环境友好,能高效收集焦油及副产物,易清理;

可选配外循环快冷系统,降温时间短,生产效率高;

 

产品规格

 

参数\型号HCVD-060609-CHCVD-101015-CHCVD-121220-CHCVD-151530-CHCVD-152023-CHCVD-252035-C
工作区尺寸
W×H×L(mm)
600×600×9001000×1000×15001200×1200×20001500×1500×30001500×2000×23002500×2000×3500
**温度(℃)150015001500150015001500
温度均匀性(℃)±5±7.5±10±10±10±10
极限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-1001-100
压升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.67
加热方式电阻电阻电阻电阻电阻电阻

以上参数可根据工艺要求进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。



主要配置

 

结构形式:卧式-单开门/双开门;立式-上出料/下出料

炉门锁紧方式:手动/自动

炉壳材质:全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢

保温材质:碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡/陶瓷纤维毡

加热器、马弗:石墨/CFC/金属

热电偶:K/N/C/S分度号

电源:KGPS/IGBT(仅适用于中频加热)


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