参考价格
1万元以下型号
12寸晶圆 MTJ膜品牌
产地
日本样本
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森泽12寸晶圆 MTJ膜
国产半导体行业专用仪器
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测量垂直磁层叠膜等
用于晶圆样品映射评估的大型设备
| 测定对象 | 晶圆上的垂直磁性材料 （可达12英寸）（MTJ膜等） |
|---|---|
| 使用光源 | 半导体激光器 ※波长需另行协商 |
| 空间分辨率 | Φ1毫米 |
| 印加磁场 | 可达20kOe（2T）～ |
NEOARK 晶圆用垂直磁特性评估装置，基于极向磁光克尔效应，专为整片晶圆垂直磁化薄膜开发，支持 12 英寸晶圆样品，可完成晶圆全域 Mapping 面扫描评估，适合 MTJ 磁性隧道结、垂直磁记录膜、自旋电子多层膜等晶圆级材料量产 / 研发检测。
整套系统由半导体激光光源、垂直电磁铁、电动 XY 晶圆载台、锁相放大检测单元、专用测控软件组成；标配光斑 Φ1mm，垂直方向外加磁场 ±20kOe（2T），可按需求定制光源波长、磁场规格；大气环境直接检测，无需真空腔体，减少晶圆前处理流程。
设备可按预设点位自动采集各位置磁滞回线，批量输出矫顽力、饱和磁化、矩形比、克尔旋转角等参数，并生成晶圆二维磁性分布云图，直观识别晶圆面内磁性不均、工艺波动；适配研发试样筛选、镀膜工艺验证、晶圆来料品质管控。
可对接洁净车间使用，也可拓展变温模块、角度依存测试组件，兼顾材料基础研究与半导体磁器件晶圆制程监控。
电动 XY 载台实现晶圆多点自动测绘，生成磁性分布图谱，评估镀膜均匀性，区别于单点小样测试。
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