特点／用途

• 测量垂直磁层叠膜等

• 用于晶圆样品映射评估的大型设备

概要／规格

NEOARK 晶圆用垂直磁特性评估装置，基于极向磁光克尔效应，专为整片晶圆垂直磁化薄膜开发，支持 12 英寸晶圆样品，可完成晶圆全域 Mapping 面扫描评估，适合 MTJ 磁性隧道结、垂直磁记录膜、自旋电子多层膜等晶圆级材料量产 / 研发检测。

整套系统由半导体激光光源、垂直电磁铁、电动 XY 晶圆载台、锁相放大检测单元、专用测控软件组成；标配光斑 Φ1mm，垂直方向外加磁场 ±20kOe（2T），可按需求定制光源波长、磁场规格；大气环境直接检测，无需真空腔体，减少晶圆前处理流程。

设备可按预设点位自动采集各位置磁滞回线，批量输出矫顽力、饱和磁化、矩形比、克尔旋转角等参数，并生成晶圆二维磁性分布云图，直观识别晶圆面内磁性不均、工艺波动；适配研发试样筛选、镀膜工艺验证、晶圆来料品质管控。

可对接洁净车间使用，也可拓展变温模块、角度依存测试组件，兼顾材料基础研究与半导体磁器件晶圆制程监控。